中國中微公司首季淨利潤同比增近兩倍，先進邏輯、存儲關鍵刻蝕機付運量提升

 中國半導體設備製造商–中微公司688012.SS周一公布，一季度淨利潤同比大增近兩倍，受營收增長及出售部分拓荊科技688072.SS股票產生收益等提振。報告期內，公司針對先進邏輯和存儲器件製造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升。

中微公司在上交所公告，一季度營業收入29.2億元，同比增長34.1%；淨利潤9.3億元，同比增197.2%。

中微公司表示，在先進存儲器件製造工藝中，公司完全自主開發的針對超高深寬比刻蝕工藝的刻蝕機已有300多台反應器實現了穩定可靠的大規模量產。

CCP方面，用於關鍵刻蝕工藝的介質刻蝕產品持續保持高速增長，下一代90:1超高深寬比低溫刻蝕設備已運付客戶端進行驗證，公司已全面覆蓋存儲器刻蝕應用中各類超高深寬比需求。

公司累計已有超過8,300個反應台在國內外180余條客戶芯片及LED 生產線全面量產。

一季度公司研發支出9.1億元，較去年同期增長約32.2%，研發支出占公司營業收入比例約為31.1%。

公司本期出售了部分持有的拓荊科技688072.SS股票，產生稅後凈收益約3.97億元。

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